第二百四十四章 Spi超级光学镜片

”

    胡来赶紧伸出右手。

    “何首长，您好。”

    何首长一脸笑容，他右手握住胡来说道：

    “真是英雄出少年，这么年轻就建立了这么优秀的凤凰集团，可比我们厉害多了。”

    “您谬赞了……”

    两人客套一番，随后陈海又介绍了会议桌另一边几人。

    果然和胡来猜想一样，几人都是来自中院芯片研究所的顶尖教授。

    胡来一一打过招呼，会议也正式步入正题。

    他将随身带来的笔记本电脑连接到投影仪上，打开昨天特意准备的一部分技术资料截图。

    在所有人注目下，投影幕布上清晰显示出一张高清图片。

    胡来环顾众人，开始解释起来：

    “各位专家，我们都知道，在euv光刻机里，现在卡住我们的主要是光源、反光镜、纳米定位（精度）和组装工艺。”

    “这张图片的技术资料，是euv光刻机重要的光源制造技术，和现在技术利用‘二氧化碳激光轰击金属锡获得euv等离子体’不同，我们突破了另一种更为简单获取euv光源的技术……”

    话音刚落，几声轻微的惊咦声在会议室响起。

    胡来仔细的讲解着图片上的技术内容，紧接着一张又一张的图片出现在幕布上。

    “这一张图片上的内容，同样是光刻机最核心的部件——纳米定位器，这是我们纳米定位对准显微系统的3d结构图，这个定位系统可以精确到亚纳米级……”

    “……”

    “最后这几张图片是我们的技术组装文档